张江高科
上海浦东新区直属国有控股上市公司，培育孵化了唯捷创芯、英集芯、赛微微电子、云从科技、益方生物和联影医疗等科创板上市公司。同时，公司持有国产高端光刻机企业上海微电子10.779%的股权。
炬光科技
国内实力最强的高功率半导体激光器品牌商，公司专注于半导体激光、激光光学业务领域。公司光场匀化器性能卓越，应用于国内主要光刻机研发项目和样机中，并进入阿斯麦、台积电的供应链。
富创精密
国内半导体设备精密零部件领军企业，主营工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路，是全球少数能够量产7纳米制程零部件厂商。早已进入海外头部厂商的供应链，证实了公司强大的产品和技术能力。